Ваш браузер устарел. Рекомендуем обновить его до последней версии.

Инверсно-магнетронный манометрический преобразователь с холодным катодом ПММ-32-1

Во многих технологических процессах необходимо контролировать уровень вакуума в зоне обработки. Для контроля уровня вакуума используются различные приборы - вакуумметры, среди них ВИТ 2, 13ВТ3-003, ВМБ-8, ВМЦБ-12, ВМБ-14.

Выбор приборов измерения определяется рабочим диапазоном давлений, которые необходимо контролировать, условиями среды в котором находятся их датчики, и зачастую наличием их у конечного потребителя. Рассмотрим сегодня ситуацию при которой необходимо измерять уровень вакуума от 1*10^(-5) Па до 8*10^(-2) Па.

Для этих целей нам подойдут вакуумметры ВМЦБ-12 и ВМБ-14. Они работают с паре с датчиком ПММ-32-1.

​Рис. 1. Датчики ПММ-32-1 с медными уплотнительными кольцами и торировочной втулкой

Различаются они индикацией измеренного вакуума и формой исполнения. ВМЦБ-12 отображает числовое значение основания степени и показатель степень, а ВМБ-14 градуированную шкалу и цифровой показатель степени. Они способны измерять вакуум в диапазоне давлений от 1*10^(-6) до 1*10^(-1), при таком давлении и выше на вакуумметре ВМЦБ-12 будет отображается только степень (-2). Из-за особенностей работы магниторазрядного датчика не рекомендуется их работа на давлении большем чем верхний предел измерения. Это может привести к выходу и строя пробора и загрязнение датчика. Для исключения таких ситуаций следует настроить включение высоковакуумных вакуумметров по форвакуумным вакуумметрам, только при достижении определенного значения. Например можно использовать один из блокировочных каналов вакуумметра 13ВТ3-003, при достижении давления 1*10^(1) Па или ниже. Если схемотехнических решений в оборудовании не предусмотрено, следует проинструктировать операторов работающих на оборудовании.

 

Рис. 2. Полностью разобранный датчик ПММ-32-1


​При соблюдении этих правил, датчики ПММ-32-1 которые предлагает Вам компания "ПроКомплект Калуга" будут служить долго, а при выходе из строя самого датчика, его легко обслуживать, заменив вакуумное уплотнение, крепежные метизы, очистив поверхности датчика от налёта, собрать его используя торировочный латунный цилиндр из комплекта. Всю необходимую оснастку к датчику поставляет наша компания.


Рис. 3. Полный комплект поставки датчика от компании "ПроКомплект Калуга".

Технические характеристики манометрического преобразователя ПММ-32-1 от компании "ПроКомплект Калуга":

  • Рабочий диапазон давлений: 1х10^-2 – 7,5х10^-10 Торр (1,3 – 1х10^-7 Па);
  • Отсчет давления*): по градуировочной характеристике - зависимости разрядного тока преобразователя от давления;
  • Анодное напряжение*): 2500±60 В;
  • Балластное сопротивление в цепи анод-преобразователь*): 1,1±0,011 МОм;
  • Магнитная индукция в центре зазора магнитной системы (катода): 0,11±0,005 Тл;
  • Сопротивление изоляции преобразователя между вводом катода (коллектор ионов) и корпусом, а также между вводом анода и корпусом, не менее: 1х10^11 Ом
  • Относительная погрешность измерения давления при температуре от 10о до 35оС: от -25% до +50% в диапазоне от 1х10^-7 до 1,3х10^-1 Па (от 7,5х10-10 до 1х10-3 Торр); от -40% до +80% в диапазоне от 1,3х10^-1 до 1,3 Па (от 1х10^-3 до 1х10^-2 Торр);
  • Относительная погрешность измерения давления при повышенных температурах (до 200оС): -50% до +100% в диапазоне от 1х10^-5 до 1,3х10^-1 Па (от 7,5х10^-8 до 1х10^-3 Торр); не нормируется в диапазонах: от 1х10^-7 до 1х10^-5 Па (7,5х10^-10 до 7,5х10^-8 Торр) и от 1,3х10^-1 до 1,3 Па (от 1х10^-3 до 1х10^-2 Торр);
  • Температура прогрева преобразователя при обезгаживании вакуумной системы, не более: (350±10)оС;
  • Давление в вакуумной системе при обезгаживании вакуумной системы не более: 1.3х10^-2 Па (1х10^-4 Торр);
  • Наработка: после эксплуатации преобразователя в течение 500 ч рекомендуется его чистка;
  • Габаритные размеры с кожухом и крышкой, не более: Ø90x123 мм;
  • Габаритные размеры без кожуха и крышки, не более: Ø90x85 мм;
  • Масса преобразователя c кожухом и крышкой,не более: 1,05 кг;
  • Масса преобразователя без кожуха и крышки, не более: 0,85 кг;
  • Монтируется в вакуумную систему через фланец Ду50 7.150.004 с использованием медной прокладки.

​Рис. 4. Компания "ПроКомплект Калуга"

​ Если у Вас возникнут дополнительные вопросы - наши специалисты с радостью на них ответят.
Электронная почта "ПроКомплект Калуга" - zakaz@ProKomplekt40.ru
Факс - +7(495)221-05-50 доб. 0474